Были попытки посмотреть осциллограммы обмена, в итоге видно картину, что время начала ответа модуля после окончания запроса мастера очень короткое, порядка 160 мкс.
Для таких ситуаций в модуле предусмотрен параметр Rs.dl - это задержка модуля перед отправкой ответа мастеру. Попробуйте увеличить его значение.