Больше похоже на какие то проблемы с ОРС сервером. Попробуйте перезагрузить компьютер, а также переустановить OPC сервер.
Также можно попробовать настроить DCOM согласно инструкции прилагаемой к MasterSCADA (инструкция предназначена для подключения удаленного ОРС, но может помочь и в вашем случае).