Иногда ОРС сервер не выгружается из памяти, и после этого не может запустится.
Попробуйте сначала закрыть проект MasterSCADA (чтобы отписаться от ОРС сервера), потом закрыть MasterOPC (убедитесь через диспетчер задач что процесс завершен, иначе завершите принудительно), затем уже открывайте проект и запускайте MasterSCADA.