Запрос вообще то верный, не противоречит Modbus
Part of Data Package Description Value
18 Slave address 0x18 (24)
03 Function code 0x03 (3) - Read Holding Registers
00 63 Starting address 0x0064 (100)
00 64 Quantity 0x0064 (100)
B6 36 CRC 0xB636 (46646)
а вот есть ли столько регистров с 100-го адреса, это уже вопрос к модулю ввода
02 Exception code [02] ILLEGAL DATA ADDRESS
