Например тут: http://www.owen.ru/forum/showthread.php?t=23013 , https://hardella.com/docs/pru/examples/fast-encoder/
Создаём PRU программу, которая измеряет нужные интервалы. PRU цикл 1мкс будет запросто. Точность определяется точностью кварца на конкретном образце ПЛК.
Но, конечно, вопрос что дальше предполагается делать с этими импульсами. Каждый интервал отгружать по Modbus? По-моему, не пролезет.
Hardella IDE вместо CoDeSys или в дополнение к нему?Если у вас открыта среда Hardella IDE