Использовать надо вот этот загрузчик прошивки.
http://www.owen.ru/upl_files/Codesys...are_v1.028.zip
Нужно будет только указать TFTP нужный каталог с прошивкой: для win7x64 - C:\Program Files (x86)\OWEN\Пользовательская прошивка ОВЕН ПЛК с CoDeSys 3\firmware\ПЛК323web_v3.212.
И следовать инструкциям программы.