MasterOPC Server : запуск внешней программы.

[SCADAMaster]

Переделывать все это на Lua, когда есть апробированное решение на delphi пока не хочется.

Это вариант:

1) при начале опроса MasterOPC с помощью встроенного скриптового языка запускает нашу программу.
2) наша программа снимает показания и записывает их во временный текстовый файл.
3) MasterOPC считывает показания и заносит их в нужные тэги, а затем удаляет временный файл.
4) MasterSCADA «видит» тэги и показывает то что надо на монитор
При этом com-порт MasterOPC вообще не использует. С ним работает только наша программа.

Скорее всего будет сложнее в реализации, и менее надежным.
Вам стоит сначала рассмотреть вариант поддержки протокола в ОРС.