Вы разобрались как конфигурировать OPC сервер?
Можно попробовать использовать функцию поиска - OPC сам найдет подключенные модули.
Если же делать вручную, то как я понял делается так. Добавляется новое устройство, задается тип устройства и его коммуникационный номер.
Далее в устройство добавляется тэг. В случае с аналоговым модулем нужно указывать номера каналов, для дискретных модулей его указывать не надо.

Ну а в MasterSCADA все просто - выполняете поиск DA серверов, добавляете NAPOPC_ST DA Server и добавляете все OPC переменные.