Так Вам нужно регулировать силу вибрации? Или частоту? Если частоту, то действительно выбросьте один вибратор, возьмите ПЧ однофазный на 220в. У неговыход 3 фазы по 220В, С РЕГУЛИРЕМОЙ ЧАСТОТОЙ. Подключите к нему 3х3 вибратора с общим 0. И всё будет работать.
А если как Вы утверждаете стоял ШИМ, то на самом деле регулировалась на частота, а просто время включения вибраторов.
Так что Вы наверное сначала определитесь с принципом работы, а потом подбирайте оборудование. Это ни в коем случае не будет сказано Вам в обиду. Просто для каждого принципа свой прибор. Если Вам нужно стряхивать периодически налипание со стенок (как у нас сухое молоко) или цемент, или ... То тогда простое циклическое реле времени, и всё. Просто подобрать цикл работы (работа/пауза). А вот если подобрать оптимальную частоту вибрации, чтобы бункер вошёл в резонанс и всё отлипло сразу, тогда может быть идея с ПЧ не лишена смысла.
Кстати, такой алгоритм (чередование по времени) можно реализовать и на ПР и на контроллере.
Кстати для меня эта тема тоже актуальна. У нас в бункере по производству сухого молока стоит вибрационная установка "УДАР". Там подаётся высокое напряжение на ударники 4кВ. Что за излучатели, не знаю. Наверное пьезокерамика. В прошлом году прошило высоковольтные столбы по сырости. Так что может тоже придётся менять. А пока ремонтировали установку, стучали по бункеру кувалдой.