Пришлите проект MasterSCADA (Проект - Экспортировать), а также логи ОРС в этот момент.
Для этого в свойствах сервера включите запись журнала и всех его событий размер лога задайте равным 10000. Запустите режим исполнения и воспроизведите ошибку. Лог пишется в папку:
c:\Users\All Users\InSAT\MasterOPC Universal Modbus Server\SERVERLOGS\
Лог заархивируйте и вышлите нам, также пришлите вашу конфигурацию ОРС сервера.