чаще всего твердотельные реле коммутируют более мощные реле или соленоиды и. при "мгновенном" отключении твердотельника, индуктивные токи в нагрузке вызывают очень большие обратные напряжения. реле подгорает. так что варистор, как минимум, необходим.
а Rc чепочки, это уж надо смотреть более внимательнео какая нагрузка предполагается.