Попробуйте выбрать для Modbus Master версию 3.5.0.0 (ПКМ на компонент - Обновить устройство). После этого выполнить команды Очистить все и Перекомпиляция из меню Компиляция.
Сделал. Остались предупреждения и какая-то неявная ошибка. С этим можно жить?