Если slave отвечает раньше чем мастер отпустит шину (а это даже меньше 1 мс), это значит, что slave реализован не по стандарту ModBus RTU и не дожидаясь стандартной паузы в 3,5 символа (но не менее 1 мс) начинает передавать.
К сожалению, тут ничего сделать нельзя.