Измерение вакуума , отрицательного давления

[Bulat]

Благодаря низкой стоимости и высокой надёжности, ПМТ-2 (манометрический термопарный преобразователь) самый распространённый в России термопарный датчик.
К вакуумному объёму лампа ПМТ-2 присоединяется либо при помощи грибкового (компрессионного) соединения...

Имеется и используется повсеместно отечественный недорогой преобразователь манометрический термопарный ПМТ-2 (датчик измеряющий вакуум )
к нему есть некоторые известные параметры
• Диапазон измерения эдс термопары: 0-10 мВ (соответственно про градуирована шкала для вакуума)
• Диапазон установки тока нагревателя: 100-140 мА (устанавливается для каждой лампы отдельно )
http://www.gidromeh.ru/content/view/212/
существует описание измерения давления его работы :
-термопарные — принцип действия основан на охлаждении за счёт теплопроводности. Термопара находится в контакте с нагреваемым проводом. Чем лучше вакуум, тем меньше теплопроводность газа, и следовательно выше температура проводника (теплопроводность разрежённого газа прямо пропорциональна его давлению). Проградуировав подключенный к термопаре милливольтметр при известных давлениях можно использовать измеряемое значение температуры для определения давления. К термопарным относятся, например, отечественные датчики ПМТ-2 и ПМТ-4М. Область измеряемых давлений от 10−3 до 10 Toрр

Вопрос к специалистам Овен , подскажите возможно ли такое подключение модуля ввода сигналов тензодатчиков МВ110-224.4ТД
Источник: http://www.owen.ru/catalog/42549881#t20c
к преобразователю манометрическому термопарному ПМТ-2 (датчик измеряющий вакуум )
см.фото

[Sniper007]

К тензопреобразователю точно нельзя.
Во-первых. Источник питания нагревателя должен быть гальванически изолирован от цепи измерения сигнала милливольт.
Во-вторых. На выходе тензомодуля напряжение 2.5 В, и как я понимаю нерегулируемое. Но на нагреватель нужно подать ток 120-140 мА, который подбирает на каждую лампу индивидуально.

Теоретически можно использовать МВ110-2А в режиме 0-50 мВ. Для питания нагревателя термопары я видел прибор Контравт Метакон СТ-562.
Но в любом случае все это будет проблематично. Ток на каждую лампу нужно подбирать. Кроме того сигнал на выходе этого датчика очень сильно нелинейный, нужно будет делать в контроллере интерполяцию.
Да и датчики эти не выпускаются уже 20 лет. Все что сейчас продается - это из старых запасов (год выпуска 89-91).

Лучше купите нормальный датчик вакуума типа Пирани. Диапазон от атмосферного до -8 степени. Питание 24 вольта, выход 0-10 В. Тип сигнала - логарифмический, в контроллере обрабатывать очень просто.

[Александр_]

Вопрос к специалистам Овен , подскажите возможно ли такое подключение модуля ввода сигналов тензодатчиков МВ110-224.4ТД
Источник: http://www.owen.ru/catalog/42549881#t20c
к преобразователю манометрическому термопарному ПМТ-2 (датчик измеряющий вакуум )
см.фото

Зачем изобретаете велосипед? Есть стандартные приборы, которые работают с ПМТ, Овен этой темой не занимается. Если вакуум неглубокий, ставьте такой прибор. Я пользовался ВИТ12. Немного дубоватый на вид, но пока работает, и даже по RS485 что-то предает на ПЛК:)

[antonsaitov]

Действительно, есть какие-то вакуумметры Метакон для измерения разрежения с помощью преобразователей ПМТ-2 или ПМТ-4М.
Но точность самих преобразователей невысокая. И потом они уже порядком устарели.
По возможности, используйте современные решения.
Например, в для измерения вакуума я использую связку ТРМ251 (ТРМ151) совместно с вакуумметром MKS Instruments 910 DualTrans. Точность и возможности прекрасные.
Можно и любые другие датчики. Но у вас, скорее всего, возникнет сложность подсоединения современных датчиков с фланцами типа KF (NW) к грибковому соединению.

[Bulat]

на нагреватель нужно подать ток 120-140 мА, который подбирает на каждую лампу индивидуально.
Для питания нагревателя термопары я видел прибор Контравт Метакон СТ-562.
Но в любом случае все это будет проблематично. Ток на каждую лампу нужно подбирать.

Вашу мысль понял и изучил ...:confused:
Питание на нагреватель можно подать сразу на шесть ламп ПМТ-2 одновременно с помощью ИСТОЧНИК ТОКА СТ-562 М ( паспорт )http://files.contravt.ru/pasp_st562m.pdf
Источник тока СТ-562-М предназначен для питания стабилизированным током накальных цепей преобразователей манометрических термопарных типа ПМТ-2, ПМТ-4
Применяется в системах измерения и регулирования вакуума: вакуумные печи, системы напыления, вакуумные лабораторные установки, научные исследования.
Источник тока СТ-562-М является модернизированным полным функциональным аналогом источника тока СТ-562
Для преобразователей ПМТ-2 рекомендуется применять в комплекте с измерителями - регуляторами МЕТАКОН.
Измерители-регуляторы МЕТАКОН
осуществляют измерение уровня вакуума;
отображают измеренное значение в физических единицах (мм. рт. ст.);
управляют исполнительными механизмами по двухпозиционному или ПИД закону в зависимости от выбранного типа регулятора МЕТАКОН;
обеспечивают сигнализацию по уровню вакуума;
передают измеренное значение по интерфейсу RS-485 в системы сбора данных и управления верхнего уровня.
Рекомендуется применять:
для позиционного регулирования и сигнализации - регуляторы МЕТАКОН-5х2 (число каналов 1, 2, 3, 6);
для ПИД регулирования - ПИД-регуляторы МЕТАКОН-5х3/МЕТАКОН-5х4 (число каналов 1, 2, 3);
для управления по программе - программные ПИД-регуляторы МЕТАКОН-613/МЕТАКОН-614 (1 канал).
Функции источника тока
Формирование стабилизированного тока для питания накальных цепей манометрических преобразователей
6 независимых гальванически изолированных каналов
Электронная установка величины тока с помощью кнопок, расположенных на передней панели прибора
Цифровая индикация значения стабилизированного тока
Диагностика и сигнализация обрывов линий подключения цепей
Технические характеристики :
Число каналов 6
Диапазон значения тока 50...150 мА
Диапазон сопротивления нагрузки 0...15 Ом
Точность задания и стабилизации тока, не менее 1 %
Дискретность задания тока 0,5 мА
Способ задания тока электронный без применения подстроечных резисторов

[Bulat]

Да и датчики эти не выпускаются уже 20 лет. Все что сейчас продается - это из старых запасов (год выпуска 89-91).
До пенсии точно хватит, если на них работать ...:rolleyes:
Снял ПМТ-2 промыл от масло (внутри спиртом, бензином "галошей") и снова на место и спокойно дальше работай...


Лучше купите нормальный датчик вакуума типа Пирани. Диапазон от атмосферного до -8 степени. Питание 24 вольта, выход 0-10 В. Тип сигнала - логарифмический, в контроллере обрабатывать очень просто.
Дорогие ... не по карману пока (тем более шесть Пирани...), да и ввод по моему надо переделывать, тоже упирается в определенные проблемы ...

Теоретически можно использовать МВ110-2А в режиме 0-50 мВ.

На шесть ламп ПМТ-2 (от источника тока СТ-562-М) можно наверно также использовать модуль ввода аналоговых сигналов ОВЕН МВ110-224.8А (два входа в запасе остается) ?
Унифицированные сигналы: +/-50мВ
Источник: http://www.owen.ru/catalog/83052283#t20c

- В термопарах только не силён :
В лампе ПМТ-2 используется хромель - капель (смотреть миниатюру сообщения №1), для этого модуля ОВЕН МВ110-224.8А термопара подойдет ?
- Между этой термопарой и модулем нужно ещё что ставить , типа нормирующего преобразователя если от модуля до термопар около 4 метров , но существуют рядом магнитные поля с проводами в 100 А ?

[Bulat]

Зачем изобретаете велосипед? Есть стандартные приборы, которые работают с ПМТ, Овен этой темой не занимается. Если вакуум неглубокий, ставьте такой прибор. Я пользовался ВИТ12. Немного дубоватый на вид, но пока работает, и даже по RS485 что-то предает на ПЛК:)
У нас на данный момент используется два ВИТ-3 с шестью лампами ПМТ-2 (перебрасываем поочерёдно штепсельный разъём с лампы на лампу , для измерения вакуума в разных концах вакуумной установки)
Что бы не прыгать ... "хотца" организовать мониторинг вакуума в разных местах практически "одновременно", с дальнейшей архивацией .
Есть вакуумметры современные с дисплеем Мерадат-ВИТ19ИТ1 http://www.tehno-dis.ru/vakuummetryi/meradat-vit19it1
но у них проблема с измерением высокого вакуума с лампами ПМИ-51 , не приспособлены увы ... ! А эта лампа тоже имеет свои прелести, преимущества в технологическом процессе ... !

[Sniper007]

На шесть ламп ПМТ-2 (от источника тока СТ-562-М) можно наверно также использовать модуль ввода аналоговых сигналов ОВЕН МВ110-224.8А (два входа в запасе остается) ?

Можно.



- В термопарах только не силён :
В лампе ПМТ-2 используется хромель - капель (смотреть миниатюру сообщения №1), для этого модуля ОВЕН МВ110-224.8А термопара подойдет ?

А причем здесь тип термопары?
Вам же не температура нужна, а давление. Вам нужно измерять напряжение, и преобразовывать в давление - есть график преобразования.
График очень нелинейный, так что нужно будет делать интерполяцию, как минимум по 8-9 точкам.

[Bulat]

Ребята, специалисты !
Извиняюсь заранее, что отвлекаю от других проблем , но мне важно ваше мнение !
Не много другая задача теперь :)
терморезистивной вакуумной лампы ПМТ-6-3М (сопротивленикм- 116 Ом) по подключению её в составе моста Уилтстона к модулю МВ110-224.4ТД
(в других вакуумных приборах лампа ПМТ-6-3М подключается анологично в этом мосту...)
подскажите правильно понимаю перевод и подключение по четырёхпроводной схеме ?
подключение модуля ввода сигналов тензодатчиков МВ110-224.4ТД
http://www.owen.ru/catalog/70251407

EXC (+) ... Питание датчика (+)
REF (+) ... Обратная связь по питанию (+)
IN (+) ... Измеряемый сигнал (+)
EXC (-) ... Питание датчика (-)
REF (-) ... Обратная связь по питанию (-)
IN (-) ... Измеряемый сигнал (-)
SHIELD ... Заземленный экран

Принцип действия теплоэлектрических манометров ПМТ-6-3М http://www.postavka-kip.ru/items/005642.html
основан на изменении теплопроводности газа в зависимости от давления в области весьма низких давлений. Мерой давления является изменение температуры нити накала, на которую подается постоянная электрическая мощность. Нить помещена в специальный баллон (см.прилагаемое фото), соединенный с вакуумной системой. Тепло от нагретой нити передается к стенкам баллона теплопроводностью, причем скорость отвода тепла от нити при давлениях меньше 1 мм рт. ст. зависит от давления внутри баллона. При постоянной подводимой электрической мощности температура нити будет тем выше, чем меньше теплопроводность среды, т. е. чем меньше давление в баллоне. Изменение температуры регистрируется терморезистором сопротивления. Полученные электрические величины можно непосредственно измерить...
(На рис. представлен мост Уитстона) приведена мостовая электрическая схема манометра сопротивления. Компенсатором служит манометрическая балластная лампа, откачанная до давления ниже 10-3 мм рт. ст. и запаянная. В одну ветвь моста включена измерительная лампа ПМТ-6-3М, в другую — балластная. Обе лампы должны находиться в одинаковых условиях. Другие две ветви моста состоят из сопротивлений R1 и R2, мало зависящих от температуры. Система уравновешивается при наиболее высоком вакууме, при этом стрелка гальванометра G устанавливается на нуль. При изменении давления изменяется сопротивление нити измерительной лампы, равновесие нарушается и стрелка гальванометра отклоняется в зависимости от давления в лампе.
К вакуумной установке преобразователь МТ-6-3М присоединен с помощью грибкового уплотнения Ду-16. Манометрический преобразователь ПМТ-6-3М представляет собой баллон из коррозионностойкой стали, внутри которого натянута вольфрамовая нить накала длиной 80 мм и диаметром 10 мкм. При работе прибора температура нити поддерживается постоянной, равной 220° С. При этом сопротивление нити составляет 116,5 Ом.
Преобразователь ПМТ-6-3М включен в одно из плеч мостика сопротивлений. К одной из диагоналей мостика подключен генератор переменного тока(или подключается и постоянный ток ! ), а к другой— усилитель, который при изменении давления в системе управляет выходным напряжением генератора таким образом, что равновесие мостика восстанавливается. Сигнал, подаваемый генератором, регистрируется стрелочным прибором. В диапазоне давлений от 10-2 до 30 мм рт. ст. ток накала нити меняется от 4 до 52 мА, напряжение— от 0,5 до 6 В.

[Bulat]

( Продолжение предыдущего сообщения № 9 )
Возможно в принципе такое подключение ?
В паспорте проскакиевает пример про атм.
http://www.owen.ru/uploads/rie_mv110-224.td_1118.pdf
Красным кружком показана лампа ПМТ-6-3М подключаемого в составе моста Уитстона :
Другие две фото показывают лампу ПМТ-6-3М с мостом Уитстона в сборе,
но подключающего к аналоговому прибору ВТ 1-4 (без разъёма RS-485) ...

Вот так выглядит лампа ещё у кого то, но с разъёмом для компа ... http://vacopttech.narod.ru/vtr.html

[Bulat]

Подскажите мах. нагрузку по току встроенного источника возбуждения тензодатчика при 2.5 Вольтах (МВ110-224.4ТД) на каждый канал ! Сколько будет Ампер ?
Не совсем понятно написано (то что подчёркнуто красным см.вложения фото)

[Bulat]

Максимальная нагрузка (нескольких параллельно подключенных датчиков) на один канал не менее 87 Ом (четыре датчика сопротивлением 350 Ом)
Там же мост как может быть еще четыре параллельно подключены? Или ошибка имеется ввиду по всем четырем каналам ? Прошу поэтому ответа какой ток мах. каждого канала ?

Для проверки : мах ток = 2.5 В / 87 Ом = 0,03 А
мин ток =2.5 В / 350 Ом =0.007 А

Правильно МВ110-224.4ТД ? http://www.owen.ru/uploads/rie_mv110-224.td_1118.pdf

[Bulat]

Расчет моста Уитстона ... выглядит так :
Сопротивление по питанию 114.3 (Ом); Ток равен 0,022 А
Сопротивление измерительной части 242,6 (Ом) ; Ток равен нулю .

[Bulat]

Не много другая задача теперь :)
терморезистивной вакуумной лампы ПМТ-6-3М (сопротивленикм- 116 Ом) по подключению её в составе моста Уилтстона к модулю МВ110-224.4ТД
(в других вакуумных приборах лампа ПМТ-6-3М подключается аналогично в этом мосту...)9060
за три прошедших этих месяца подобрал номиналы сопротивлений и статистику измерений вакуума ...
Решился всё таки попробовать купить модуль МВ110-224.4ТД для измерения вакуума ...
Подтолкнула на такие действия сайт представителя в России по датчикам давления ...
Вчера наткнулся на аналогичную мостовую схему Уитсона датчиков давления (вакуум) типа ПМТ-6-3М ...
http://www.zemic.ru/catalog/rasd3/detail.php?ID=1173

[Bulat]

измерения вакума ( давления ), прибором ПМТ-6-3М с мостом Уитсона ( МОСТОВОЙ метод измерения ) не попадает в диапазон от минус 300,0 до плюс 300,0, мВ

[Sergey666]

А,какой глубины вакуум мерять хотите???
И , для чего изыскания сии? Есть нормальные датчики для измерения вакуума с выходом унифицированным.
Или это прикол такой - дешовый датчик , но к нему прибор нужен дорогой ... ну там сопротивлений магазин и батарейки ещчо ... пару транзисторов засунуть и все - на выставку на-на технологии .

[Bulat]

А,какой глубины вакуум мерять хотите???
И , для чего изыскания сии? Есть нормальные датчики для измерения вакуума с выходом унифицированным.
Или это прикол такой - дешовый датчик
Датчик действительно дешёвый ПМТ-6-3М и про глубину вакуума ... http://vozrozhdenie-ltd.pulscen.ru/goods/6218435-6218435
Да и во времена СССР , их наделали столько... что нужно поддерживать бывшего местного производителя - 30 лет ими пользуюсь , теперь пришло время на ПК сигнал завести :)
Да и в установках не нужно переделывать под их резьбы новых датчиков , да и денег просят за них ... где же столько работы наберёшь под эти датчики Пираньи новые 1000$ !!!

[Bulat]

... ну там сопротивлений магазин и батарейки ещчо ... пару транзисторов засунуть
Из магазина нужно всего 4...5 сопротивлений и мост Уитсона будет собран в сборе с ПМТ-6-3М по мостовой схеме !
;) Батарейки не нужны, т.к. эта мостовая схема будет питаться от напряжения возбуждения 2.5 Вольта модуля МВ110-224.4ТД
Транзисторы тоже не нужны , т.к. в модуле МВ110-224.4ТД всё это присутствует в виде входа IN для снятия результатов с другой диагонали моста Уитсона ...

[Bulat]

9107
не попадает в диапазон от минус 300,0 до плюс 300,0, мВ
Вопрос в техподдержку , конструкторам ОВЕН ( к знатокам форума ) :

В виду исключительного случая или под заказ : изменить (добавить) диапазон измерения входа прибора в сторону увеличения от минус 600 мВ до плюс 600 мВ
( стр. 10 ;Таблица 2.2 – Метрологические характеристики прибора )
http://www.owen.ru/uploads/re_mv110-224.td_1257.pdf
Имеется ли такая возможность (хотел уточнить у опытных конструкторов, программистов) у компании ОВЕН : у модуля МВ110-224.4ТД , изменить входные параметры прибора и названия физических величин на Паскали (Вакуум - можно мм рт. ст.)???

Остальные технические характеристики прибора остаются прежними !

[приборист]

Для измерения вакуума использую РПД-В (РОСМА) http://rosma.spb.ru/#catalog/datchiki_i_rele/preobrazovateli_davleniya_izmeritelnye_rpd

[Bulat]

Таблица перевода вакуума :
9137

Для измерения вакуума использую РПД-В (РОСМА) http://rosma.spb.ru/#catalog/datchiki_i_rele/preobrazovateli_davleniya_izmeritelnye_rpd
Из тех что Вы показали , наводит улыбку у меня ... ;)
Это не тот вакуум, есть вакуум глубже и его нужно измерить и работать в нем ...

[Пугачев Андрей]

Требуемая доработка при потребностях несколько сотен штук-экономически не выгодна

[Bulat]

Спасибо .
Тогда нет выбора, будем выходить из положения из того что есть ... предел измерений от -300 мВ до +300 мВ остаётся прежним , согласно техническим характеристикам прибора МВ110-224.4ТД
9639
http://www.owen.ru/uploads/re_mv110-224.td_1257.pdf
т.е шкалу давления (вакуума) будем растягивать и приравнивать на этот диапазон милливольт ,
в том числе и калибровать по двум точкам на атмосферу и на глубокий (высокий) вакуум... по прибору которому доверяю
96379638

Были вопросы по этому поводу здесь : http://www.owen.ru/forum/showthread.php?t=15609

[Bulat]

Возник в процессе ещё вопрос по подключению !
http://www.owen.ru/catalog/70251407
96409641
включен режим питания(возбуждения) в приборе.... "знакопеременая"
т.к предел измерения прибора от - 300 мВ(вакуум) до +300 мВ(атмосфера)
каким образом считать при подключении где ( -in ) и (+in) датчик № 1
так как получается и так правильно и так ... вход получается инвертарный ?
При атмосферном давлении приходит плюс на вход прибора с моста Уитсона , при вакууме минус
9643
На весах такое тоже может присутствовать в тензодатчиках, меняется (+) и (-) на входе (in) ?

[Bulat]

т.е шкалу давления (вакуума) будем растягивать и приравнивать на этот диапазон милливольт ,
в том числе и калибровать по двум точкам на атмосферу и на глубокий (высокий) вакуум... по прибору которому доверяю

10204
Нашёл паспорт очень старый на датчик давления ПМТ-6-3М , где указана градуировочная кривая
1020210203
Строю графики натекания и сравниваю их с образцом :
10205
P.S. Для ознакомления с вакуумом :
http://teslacoil.ru/pod-davleniem/vakuumnaya-sistema/
вакуумметры сопротивления
http://www.neon-neon.ru/support/print_learning37.html

[pistoletov]

Подскажите а можно ли какой-то из датчиков давления Овен использовать для измерения (контроля) вакуума 6 -го порядка. Отрицательное давление в мегапаскалях так будет или ошибаюсь? Задача - контроль работы вакуумной печки. Сейчас стоят как раз эти лампы но хочется что-то линейное и посовременней.

[Павел Братковский]

Отрицательное давление в мегапаскалях так будет или ошибаюсь?

вроде на земле более -1атм=-0,1МПа не бывает.......пд100 может мерить вакумметрическое давление

[Yegor]

Отрицательное давление в мегапаскалях так будет или ошибаюсь? Задача - контроль работы вакуумной печки.Первичная откачка электромеханическими насосами по грубым относительным вакуумметрам, которые градуируются в атм, т.е. −1 атм это условный вакуум (нижний предел измерителя). Дальше каким-нибудь паромасляным диффузионником уже по датчикам абсолютного давления, где счёт идёт в пределах одного паскаля, и 0 Па это идеальный вакуум. В вашем случае микропаскали (хотя не слышал, чтобы их так называли). По глубокому вакууму могу только немного предостеречь от связки Мерадата, этих долбаных ламп и аналогового соединения с контроллером — много нервов вымотали, но в итоге всё работало. Ищите сначала цифровой измеритель без длинных аналоговых связей со всякими лампами. У Овена измерителей глубокого вакуума не вижу. На соседней установке у ребят какая-то забугорная штука стояла одним блоком до −8 степени, но я не запомнил, как её звали.

[pistoletov]

ну вот как я думаю - датчик овна пд100-дв01 датчик меряет ваккумное давление относительно атмосферного и тут думаю все же мегапаскали будут. Если речь об абсолютном давлении то микропаскали
Этот датчик меряет до 0.1 мпа вакуумного (отрицательного) давления.
Модель точная датчика ПД100-ДВ0,1-171-0,5 Тут наверное все же сам принцип тензометрии подходит ли для таких задач? На лампах способ измерения достаточно простой - нагреватель и термопара. Теплопроводность вакуума нулевая так и меряют по теплопроводности..Сейчас система на лампах но там и калибровка нужна и связь с плк там проблемная

[Yegor]

Просто этот датчик покажет вам минус 0,1 МПа задолго до требуемой глубины вакуума. И будет показывать одно и то же хоть на 10E-1, хоть на 10E-2, хоть на 10E-6 Па абсолютного давления. Повторюсь: у Овена датчиков для глубокого вакуума я не вижу.

[pistoletov]

Спасибо, понял теперь. Датчики глубокого вакуума несмотря на несложность стоит совсем как-то негуманно.. Печку запускаем в плане эксперимента не хотелось бы много средств в это вкладывать

[Анатолий1985]

Ой ну и намучился я с этими датчиками. Смотрите на тех. характеристики прибора. Тут ключевое дело в мощности. Тут надо 10 раз подумать стоит ли особенно как вы говорите, "в плане эксперимента". Ну если всё же решитесь, то вот где я нашёл для себя хорошее решение https://eastvacuum.ru/

[Копатель]

Ой ну и намучился я с этими датчиками. Смотрите на тех. характеристики прибора. Тут ключевое дело в мощности. Тут надо 10 раз подумать стоит ли особенно как вы говорите, "в плане эксперимента". Ну если всё же решитесь, то вот где я нашёл для себя хорошее решение https://eastvacuum.ru/
Не могли бы поконкретнее посоветовать? Мне необходимо мерить уровень вакуума в резервуаре. Радиус от 0 до -1 БАР. Сжатый воздух 7 БАР. Датчик Leybold CERAVAC CTR 100 (https://eastvacuum.ru/vacuum-sensors/sensors-leybold/membranno-yemkostnye-datchiki-leybold-ceravac/aktivnyy-datchik-leybold-ceravac-ctr-100-s-temperaturnoy-kompensatsiey-0-1-torr.html) подойдет для этого?

[Николай Чайка]

Недавно купил вакуумный насос у частника. Насос после первого использования закипел.Коллеги посоветовали купить на https://eastvacuum.ru, ноя сомневаюсь, не хочу опять ошибиться с покупкой. Кто заказывал там? Что можете сказать?

[Serhioromano]

Прочитал всю тему, но так и не понял, каким датчиком можно измерять глубокий вакуум до 10Па?

[Мария Мильчакова]

Прочитал всю тему, но так и не понял, каким датчиком можно измерять глубокий вакуум до 10Па?

Добрый день.
К сожалению, компания ОВЕН датчиков для измерения глубокого вакуума не производит.